| Tốc độ bơm: |
ISO 100 K / CFF 6”/ ISO 160 K / CFF 8” |
| N2 |
250 L/s |
| He |
255 L/s |
| H2 |
220 L/s |
| Ar |
250 L/s |
| Thông lượng khí tối đa |
| N2 |
250 SCCM |
| Tỷ lệ nén |
| N2 |
> 1 x 1011 |
| He |
> 1 x 108 |
| H2 |
1.5 x 106 |
| Ar |
> 1 x 1011 |
| Áp lực Foreline Tolerance N2 tối đa |
12 mbar |
| Áp suất cơ sở có bơm sơ cấp đề xuất |
<1 x 10 -10 mbar |
| (<1 x 10 -10 Torr) |
| Mặt bích đầu vào |
ISO 100 K, CFF 6”, ISO 160 K, CFF 8” |
| Mặt bích foreline |
KF16 NW (KF25 – tùy chọn) |
| Tốc độ quay |
60000 rpm (1010 Hz driving frequency) |
| Thời gian khởi động |
< 3 phút (lâu hơn khi khởi động mềm) |
| Bơm sơ cấp đề xuất |
Bơm khô: IDP-3 (no gas flow), IDP-7, IDP-10, |
| Cơ khí: DS102, DS302 |
| Vị trí vận hành |
Bất kì |
| Nhiệt độ xung quanh khi vận hành |
+5 °C tới +35 °C |
| Nhiệt độ khử khí bằng nhiệt |
Tối đa 80 °C ở mặt bích |
| Lớp phủ |
Lớp phủ dầu vĩnh viễn |
| Tiêu chuẩn tản nhiệt |
| Tản nhiệt khí |
Đối lưu tự nhiên (không có tải khí) |
| Không khí cưỡng bức (nhiệt độ môi trường 5- 35 ° C) |
| Tản nhiệt nước |
Lưu lượng tối thiểu: 50 l/h (0.22 GPM) |
| Nhiệt độ: +15 °C tới +30 °C |
| Áp lực tối đa: 5 bar (75 psi) |
| Độ ồn |
41 dB(A) |
| Cách 1m ở tốc độ tối đa |
| Nhiệt độ bảo quản |
-40°C tới +70°C |
| Khối lượng kg (lbs) |
ISO 100 K 5,84 kg (12,8) |
|
CFF 6’’ 8,16 kg (17,9) |
| |
ISO 160 K 6,28 kg (13,8) |
| |
CFF 8’’ 10.43 kg (22.9) |
| Tuân thủ: |
EN 61010-1 |
| EN 61326-1 |
| EN 1012-2 |
| EN 12100 |
| EN 50581 |
| Chỉ thị máy móc 2006/42/EC |
| Chỉ thị tương thích điện từ |
| 2014/30/EU và 2011/65/EU |
| Nguồn điện (24 Vdc): |
| Điện áp đầu vào
Công suất đầu vào tối đa
Dự phòng
Công suất hoạt động tối đa |
24 Vdc
200 W
10 W
150 W với tản nhiệt |
| Cầu chì |
8 A |
| USB |
USB 1.1 |