TwisTorr 704 FS (2)
TwisTorr 704 FS (1)
TwisTorr 704 FS (3)
TwisTorr 704 FS (4)
TwisTorr 704 FS (5)

Bơm Turbo Agilent 700 Ls, TwisTorr 704 FS

Bơm turbo Agilent 700 L/s, TwisTorr 704FS tích hợp công nghệ TwisTorr drag stage và Agilent Floating suspension(FS) để mang lại hiệu suất cao, độ tin cậy và kinh tế. Máy bơm Tubi 80L/s mang tới hiệu suất chân không cao nhờ vào sự kết hợp của công nghệ Turbo và TwisTorr tiên tiến. Công nghệ FS đảm bảo làm giàm độ rung và tiếng ồn nhắm tương thích với thiết bị đo dạc và môi trường làm việc.

Dòng máy bơm turbo phân tử 700L/s có ứng dụng rộng rãi bao gồm R&D, nghiên cứu hệ thống UHV và nguyên tử, máy cấy ion, phân tích bề mặt, kính hiển vi điện tử và kết đông.

 

 


ĐẶC TÍNH NỔI BẬT

  • Công nghệ TwisTorr tiên tiến : Tỷ lệ nén cao đối với khí nhẹ và thiết kế rotor rất nhỏ gọn mang lại hiệu suất cao và quá trình tối thiểu.
  • Chỉ số Foreline Tolerance: nên cùng công việc có thể chọn máy nhỏ hơn, do đó giảm chi phí và kích thước hệ thống.
  • Hệ thống Agilent FS: Độ rung và tiếng ồn thấp, điều kiện làm việc tối ưu, tuổi thọ cao, giảm chi phí, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và đảm bảo hiệu năng ổn địnhMàng bao phủ khô và độc đáo: Bảo trì miễn phí, dầu miễn phí; cho phép lắp đặt theo bất kỳ hướng nào.
  • Phần mềm điều khiển bơm 3d cung cấp sự linh hoạt, tốc độ và đơn giản – mang tới thông lượng và vận hành nén theo điều kiện vận hành của máy.
  • Ứng dụng phổ thông của bơm Turbo

NGUYÊN LÝ VẬN HÀNH


CÔNG NGHỆ


THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Tốc độ bơm: ISO 160 / CF 8”
N2 660 L/s
He 640 L/s
H2 480 L/s
Ar 625 L/s
Thông lượng khí tối đa (*có bơm hỗ trợ đề xuất) Nhiệt độ xung quanh (25 °C) Nhiệt độ nước (25 °C, 50 L/h)
He 7.9 mbar L/s 10.4 mbar L/s
467 SCCM 615 SCCM
N2 4.3 mbar L/s 6.2 mbar L/s
255 SCCM 367 SCCM
Ar 1.5 mbar L/s 3.3 mbar L/s
89 SCCM 195 SCCM
(*) Bơm ngược 11.6 m3/hr
Tỷ lệ nén và Foreline Tolerance*
N2 >1E+11 10 mbar
He 2.00E+08 10 mbar
H2 3.00E+06 4 mbar
Ar 1.00E+11 8.5 mbar
(**) Foreline Tolerance được xác định là áp suất tại điểm bơm turbo tạo ra lực nén 100 và được ước tính khi chạy tản nhiệt nước
Áp suất cơ sở (có bơm hỗ trợ đề xuất) < 1 x 10-10 mbar
(< 1 x 10-10 Torr)
Mặt bích đàu vào ISO 160K, ISO 160F, CFF 8”
Mặt bích foreline NW25 (NW40 là phụ kiện không bắt buộc)
Bơm hỗ trợ đề xuất DS302
IDP10
IDP15
Tư thế vận hành Bất kì
Nhiệt độ xung quanh khi vận hành +5 °C tới +35 °C
Lớp phủ Lớp phủ dầu vĩnh viễn
Tiêu chuẩn tản nhiệt
Tản nhiệt khí Nhiệt độ không khí từ +5°C tới 35°C
Tản nhiệt nước Nhiệt độ nước +15°C tới +25°C
Lưu lượng nước tối thiểu 100L/h
Áp suất tiếng ồn 43dB(A)
(ở 1m với vận tốc tối đa) (lbs):

Tài liệu kỹ thuật