Bơm Turbo thông lượng cao Agilent Turbo-V 1K-G
Máy bơm Turbo phân tử thông lượng lớn, Turbo-V 1K-G, là hệ thống bơm chân không chuyên dụng, thiết kế đặc biệt như một máy bơm turbo cho thiết bị lắng động màng mỏng. Các giai đoạn bơm và toàn bộ cáu trúc máy bơm, được tối ưu hóa để hoạt động với lưu lượng Argon lớn dưới nhiệt độ tải khí lớn.
Turbo-V 1K-G phù hợp cho môi trường sản xuất khắc nghiệt nhờ thiết kế chắc chắn. Các ứng dụng công nghiệp phủ chân không điển hình bao gồm lắng đọng hơi nước (PVD), sản xuất tấm pin mặt trời và màn hình phẳng.
Thiết kế bơm mạnh mẽ và thiết bị điện tử hiện đại, bộ điều khiển giá đỡ hoặc bo mạch, khiến cho Turbo-V 1K-G trở thành giải pháp tối ưu cho ngành công nghiệp phủ chân không.
Chi tiết sản phẩm
ĐẶC TÍNH NỔI BẬT
- Giải pháp bơm chuyên dụng được thiết kế cho thiết bị lắng đọng màng mỏng
- Tốc độ bơm lớn và thông lượng khí lớn
- Thiết kế chắc chắn và hệ thống tản nhiệt hiệu quả cao để vạn hành liên tục
- Lọc khí giúp bơm bền bỉ hơn
- Bộ điều khiển bo mạch giá đỡ Navigator
- Giao diện điện tử đa năng với phần mềm điều khiển dễ sử dụng
- Tín hiệu analog I/O và giao diện tiêu chuẩn RS232/RS485 , giao diện tùy chọn Agilent Profibus
- Ứng dụng phổ thông của bơm Turbo
NGUYÊN LÝ VẬN HÀNH
CÔNG NGHỆ
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
| Tốc độ bơm: | ||||
| ISO 160: | Ar: 750 l/s | N2: 810 l/s | He: 950 l/s/ | H2: 680 l/s |
| ISO 200: | Ar: 1,040 l/s | N2: 1,080 l/s | He: 1,150 l/s | H2: 730 l/s |
| Tỷ lệ nén: | Ar: 5 x 108 | N2: 5 x 107 | He: 4 x 104 | H2 1.5 x 104 |
| Áp lực sơ sở* (với bơm sơ cấp đề xuất) | <1 x 10-10 mbar | |||
| Mặt bích đầu vào | ISO 160F, ISO 200F | |||
| Mặt bích Foreline | KF 25 NW | |||
| ISO 160: | KF 40 NW | |||
| ISO 200: | ||||
| Tốc độ quay | 45,500 rpm | |||
| Thời gian khởi động | ||||
| Bơm hỗ trợ | > 20 m3/h (TriScroll 600, DS 602) | |||
| Tư thế vận hành | Any | |||
| Nhiệt độ xung quanh khi vận hành | +5 °C tới +35 °C | |||
| Nhiệt độ nung chân không | ||||
| tối đa 80 °C ở mặt bích đầu vào (mặt bích ISO) | ||||
| Độ rung (thay đổi được) | ||||
| Yêu cầu tản nhiệt | Nước | |||
| Nguồn điện | Tần số< 50 – 60 Hz | Công suất đầu vào tối đa: 600 VA | Công suất chờ: 30 to 35 W | |
| Điện thế đầu vào: 100-240 Vac | 400 W sử dụng Nitrogen và khí nhẹ (tản nhiệt nước) | |||
| Công suất vận hành tối đa: | 260 W sử dụng Argon (tản nhiệt khí) | |||
| Cầu chì bảo vệ (Bộ điều khiển Navigator) | 1 x 6.3 A | |||
| Giao tiếp nối tiếp (Bộ công cụ điều hướng) | RS232 cáp cùng 9-pin loại D | Đầu nối đực, đầu nối cái 9-pin loại D và phần mềm Navigator (tùy chọn) | ||
| Nhiệt độ Bảo quản | -20 °C tới +70 °C | |||
| Khối lượng | 26.8 kg (59.1 lbs) |
