Turbo-V 2K-G (4)
Turbo-V 2K-G (1)
Turbo-V 2K-G (2)
Turbo-V 2K-G (3)
Bơm Turbo thông lượng cao Agilent Turbo-V 1K-G
Bơm Turbo thông lượng cao Agilent Turbo-V 3K-G

Bơm Turbo thông lượng cao Agilent Turbo-V 2K-G

Máy bơm Turbo phân tử thông lượng lớn, Turbo-V 2K-G, là hệ thống bơm chân không chuyên dụng, thiết kế đặc biệt như một máy bơm turbo cho thiết bị lắng động màng mỏng. Các giai đoạn bơm và toàn bộ cáu trúc máy bơm, được tối ưu hóa để hoạt động với lưu lượng Argon lớn dưới nhiệt độ tải khí lớn.

 

Turbo-V 2K-G phù hợp cho môi trường sản xuất khắc nghiệt nhờ thiết kế chắc chắn. Các ứng dụng công nghiệp phủ chân không điển hình  bao gồm lắng đọng hơi nước (PVD), sản xuất tấm pin mặt trời và màn hình phẳng.

 

Thiết kế bơm mạnh mẽ và thiết bị điện tử hiện đại, bộ điều khiển giá đỡ hoặc bo mạch, khiến cho Turbo-V 1K-G trở thành giải pháp tối ưu cho ngành công nghiệp phủ chân không.

Chi tiết sản phẩm

ĐẶC TÍNH NỔI BẬT

  • Giải pháp bơm chuyên dụng được thiết kế cho thiết bị lắng đọng màng mỏng
  • Hiệu suất cao nhất, thiết kế nhỏ nhất hiện có
  • Thiết kế đầu tiên được tích hợp đầy đủ cho hiệu suất hệ thống và thời gian hoạt động tối đa
  • Gói tích hợp bao gồm bơm phân tử, ổ cứng điện tử, nguồn điện, MoniTorr, lọc khí và thiết bị trao đổi
  • Giao diện điện tử đa năng với phần mềm điều khiển dễ sử dụng Analog I/O và giao diện RS232 / RS485 làm chuẩn
  • Giao diện Agilent Profibus (tùy chọn)
  • Sử dụng phàn mềm Agilent A-PLUS (trước đây là T-plus)
  • Ứng dụng phổ thông của bơm Turbo

NGUYÊN LÝ VẬN HÀNH

CÔNG NGHỆ

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Tốc độ bơm: N2: 1600 l/s
Tỷ lệ nén: N2: 3 x 105
Áp lực cơ sở* (Với bơm sơ cấp đề xuất) <1 x 10-8 mbar
Mặt bích đầu vào ISO 250F
Mặt bích Foreline KF 40 NW
Tốc độ quay 33,000 rpm
Thời gian khới động
Bơm sơ cấp đề xuất > 40 m3 /h
Tư thế vận hành Bất kì
Nhiệt độ xung quanh khi vận hành +5 °C tới +40 °C
Nguồn điện
Điện thế đầu vào 100 – 240 Vac
tần số đàu vào 50 – 60 Hz
Giao điện giao tiếp Analogue I/O Standard
RS232 / RS485 Standard
Profibus Optional
Kích thước Height 335 mm (13.18 in.)
Weight 335 mm (13.18 in.)
Diameter 35 kg (77 lbs)

Tài liệu kỹ thuật

Sản phẩm tương tự