Bơm Turbo Agilent 400 L/s, TwisTorr 404 FS
Bơm turbo Agilent 400 L/s, TwisTorr 404FS tích hợp công nghệ TwisTorr drag stage và Agilent Floating suspension(FS) để mang lại hiệu suất cao, độ tin cậy và kinh tế. Máy bơm Turbo 400L/s mang tới hiệu suất chân không cao nhờ vào sự kết hợp của công nghệ Turbo và TwisTorr tiên tiến. Công nghệ FS đảm bảo làm giàm độ rung và tiếng ồn nhắm tương thích với thiết bị đo dạc và môi trường làm việc.
Dòng máy bơm turbo phân tử 400L/s có ứng dụng rộng rãi bao gồm R&D, nghiên cứu hệ thống UHV và nguyên tử, máy cấy ion, phân tích bề mặt, kính hiển vi điện tử và kết đông.
Bơm TwisTorr 404 FS có thể vận hành bằng bảng điều khiển hoặc điều khiển từ xa
Chi tiết sản phẩm
ĐẶC TÍNH NỔI BẬT
- Công nghệ TwisTorr tiên tiến : Tỷ lệ nén cao đối với khí nhẹ và thiết kế rotor rất nhỏ gọn mang lại hiệu suất cao và quá trình tối thiểu.
- Chỉ số Foreline Tolerance: nên cùng công việc có thể chọn máy nhỏ hơn, do đó giảm chi phí và kích thước hệ thống.
- Hệ thống Agilent FS: Độ rung và tiếng ồn thấp, điều kiện làm việc tối ưu, tuổi thọ cao, giảm chi phí, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và đảm bảo hiệu năng ổn địnhMàng bao phủ khô và độc đáo: Bảo trì miễn phí, dầu miễn phí; cho phép lắp đặt theo bất kỳ hướng nào.
- Phần mềm điều khiển bơm 3d cung cấp sự linh hoạt, tốc độ và đơn giản – mang tới thông lượng và vận hành nén theo điều kiện vận hành của máy.
- Ứng dụng phổ thông của bơm Turbo
NGUYÊN LÝ VẬN HÀNH
CÔNG NGHỆ
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
| Tốc độ bơm: | ISO 100K / ISO 100F / CFF 6″ | |||
| N2 | 380 L/s | |||
| He | 505 L/s | |||
| H2 | 415 L/s | |||
| Ar | 340 L/s | |||
| Thông lượng khí tối đa (*) | Tản nhiệt khí | Tản nhiệt nước | ||
| (25°C nhiệt đọ xung quanh) | (15 °C nhiệt độ nước /25 °C nhiệt độ xung quanh) | |||
| N2 | 4.3 mbar L/s | 6.2 mbar L/s | ||
| 255 SCCM | 367 SCCM | |||
| He | 7.9 mbar L/s | 10.4 mbar L/s | ||
| 467 SCCM | 615 SCCM | |||
| Ar | 1.5 mbar L/s | 3.3 mbar L/s | ||
| 89 SCCM | 195 SCCM | |||
| (*) Bơm hỗ trợ 11.6 m3/hr | ||||
| Tỷ lệ nén và Foreline Tolerance | ||||
| N2 | >1 x 1011 | 10 mbar | ||
| He | 2 x 108 | 10 mbar | ||
| H2 | 3 x 106 | >4 mbar | ||
| Ar | >1 x 1011 | 8.5 mbar | ||
| (**)Foreline Tolerance được xác định là áp suất tại điểm bơm turbo tạo ra lực nén 100 và được ước tính khi chạy tản nhiệt nước | ||||
| Áp suất cơ sở | < 1 x 10-10 mbar | |||
| (< 1 x 10-10 Torr) | ||||
| Mặt bích đầu vào | ISO 100K, ISO 100F, CFF 6” | |||
| Mặt bích Foreline | NW25 (NW16 là phụ kiện không bắt buộc) | |||
| Tốc độ quay | Tự động cài đặt từ 40800 RPM tới 49500 RPM | |||
| Thời gian khởi động | < 5 phút | |||
| Bơm hỗ trợ tiêu chuẩn | Bơm cánh gạt Agilent DS302 | |||
| Bơm chân không khô Agilent IDP-10 | ||||
| Bơm chân không khôAgilent IDP-15 | ||||
| Tư thế vận hành | bất kì | |||
| Nhiệt độ xung quanh khi vận hành | +5 °C to +35 °C | |||
| Độ ẩm tương đối của không khí | 0 to 90% (không nhưng tụ) | |||
| Nhiệt độ nung chân không | ISO pump: 80°C ở mặt bích đầu vào | |||
| CFF pump: 120°C ở mặt bích đầu vao | ||||
| Lớp phủ | Lớp phủ vĩnh viễn | |||
| Tiêu chuẩn tản nhiệt | ||||
| Tản nhiệt khí | Nhiệt độ khí từ +5°C tới 35°C | |||
| Tản nhiệt nước | Nhiệt độ nước từ +15°C tới +25°C | |||
| Lưu lượng nước tối thiểu. 100L/h | ||||
| Áp suất tiếng ồn | 43dB(A) | |||
| (ở 1m ở vận tốc tối đa) | ||||
| Nhiệt độ bảo quản | -40 °C tới +70 °C | |||
| Độ cao lớn nhất | 3000 m | |||
| Khối lượng kg (lbs) | ISO100K | 22.6 kg (49.8) | ||
| ISO100F | 23.7 kg (52.3) | |||
| CFF 6″ | 23.5 kg (51.8) | |||
| Tuân thủ các chỉ tiêu | ||||
| EMC (Control Units) | 61326-1 | |||
| Safety (CE/CSA) | 61010-1 | |||
| Machinery Directive | DIR 2006/42/CE | |||
| Low Voltage Directive | DIR 2014/35/EU | |||
| EMC Directive (Control Units) | DIR 2014/30/EU | |||
| ROHS | DIR 2011/65/EU | |||
