| Tốc độ bơm: |
N2: 67 l/s |
He: 63 l/s/ |
H2: 53 l/s |
Ar: 66 l/s |
| Với CFF 4 ½” hoặc ISO 63: |
N2: 56 l/s |
He: 46 l/s |
H2: 40 l/s |
Ar: 57 l/s |
| Với CFF 2 ¾”: hoặc KF 40: |
N2: 49 l/s |
He: 38 l/s |
H2: 36 l/s |
Ar: 44 l/s |
| Thông lượng khí khi vòng quay tối đa (với bơm hỗ trợ đề xuất) |
|
|
|
|
| Tản nhiệt khí (35 °C) |
N2: 100 sccm |
Ar: 70 sccm |
| Tản nhiệt nước (25 °C, 65 l/h) |
N2: 100 sccm |
Ar: 70 sccm |
| Tỷ lệ nén: |
N2: ≥1 x 1011 |
He: 2 x 106 |
H2: 5 x 104 |
Ar: >1 x 1011 |
| Áp lực cơ sở* (với bơm hỗ trợ đề xuất) |
-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) |
|
|
|
| Mặt bích đầu vào |
CFF 4 ½” O.D. |
ISO 63 |
|
|
| CFF 2 ¾” O.D. |
KF40 |
| Mặt bích Foreline |
KF 16 NW |
|
|
|
| Tốc độ quay |
81,000 rpm (1350 Hz driving frequency) |
|
|
|
| Thời gian khởi động |
|
|
|
|
| bom hỗ trợ đề xuất |
Bơm cơ: Agilent DS 40M – DS 102 |
|
|
|
| Bơm chân không: Agilent IDP-3, SH 110 |
| Tư thế vận hành |
Bất kì |
|
|
|
| Nhiệt độ xung quanh lúc vận hành |
+5 °C tới +35 °C |
|
|
|
| Độ ẩm tương đối của không khí |
0 – 90 % (Không ngưng tụ) |
|
|
|
| Nhiệt độ nung chân không |
120 °C tối đa ở mặt bích đầu vào. (mặt bích CFF) |
|
|
|
| 80 °C tối đa ở mặt bích đầu vào. (mặt bích ISO) |
| Lớp phủ |
Lớp phủ vĩnh viến |
|
|
|
| Tiêu chuẩn tản nhiệt |
Tản nhiệt khí: |
Nhiệt độ dòng khí +5 °C tới +35 °C |
|
|
| Tản nhiệt nước: |
Nhiệt độ nước tản nhiệt: +15 °C to 25 °C |
|
Lưu lượng tối thiểu: 65 l/h (0.30 GPM) |
|
Áp suất: 2 tới 4 bar (45 tới 75 psi) |
| Áp lực tiếng ồn (ở 1 mt tốc độ tối đa) |
40 dB(A) * |
|
|
|
| Nhiệt độ bảo quản |
-40 °C tới +70 °C |
|
|
|
| Độ cao tối đa |
3000 m |
|
|
|
| Chứng nhận |
CE, C-CSA-US, RoHS tuân thủ theo 2011/65/UE |
|
|
|
| Khối lượng kg (lbs): |
Bơm ISO 63: |
Bơm CFF 4½” : |
Bơm CFF 2 ¾”: |
Bơm KF 40: |
| 2.5 (5.5) |
3.5 (7.7) |
3.34 (7.35) |
2.37 (5.22) |
English
