Bơm Turbo thông lượng cao Agilent Turbo-V 1K-G

Máy bơm Turbo phân tử thông lượng lớn, Turbo-V 1K-G, là hệ thống bơm chân không chuyên dụng, thiết kế đặc biệt như một máy bơm turbo cho thiết bị lắng động màng mỏng. Các giai đoạn bơm và toàn bộ cáu trúc máy bơm, được tối ưu hóa để hoạt động với lưu lượng Argon lớn dưới nhiệt độ tải khí lớn.

Turbo-V 1K-G phù hợp cho môi trường sản xuất khắc nghiệt nhờ thiết kế chắc chắn. Các ứng dụng công nghiệp phủ chân không điển hình bao gồm lắng đọng hơi nước (PVD), sản xuất tấm pin mặt trời và màn hình phẳng.

Thiết kế bơm mạnh mẽ và thiết bị điện tử hiện đại, bộ điều khiển giá đỡ hoặc bo mạch, khiến cho Turbo-V 1K-G trở thành giải pháp tối ưu cho ngành công nghiệp phủ chân không.

Danh mục: Bơm Turbo & bộ Điều Khiển

Liên hệ tư vấn

Chi tiết sản phẩm

Đặc tính nổi bật

Giải pháp bơm chuyên dụng được thiết kế cho thiết bị lắng đọng màng mỏng
Tốc độ bơm lớn và thông lượng khí lớn
Thiết kế chắc chắn và hệ thống tản nhiệt hiệu quả cao để vạn hành liên tục
Lọc khí giúp bơm bền bỉ hơn
Bộ điều khiển bo mạch giá đỡ Navigator
Giao diện điện tử đa năng với phần mềm điều khiển dễ sử dụng
Tín hiệu analog I/O và giao diện tiêu chuẩn RS232/RS485 , giao diện tùy chọn Agilent Profibus
Ứng dụng phổ thông của bơm Turbo

Thông số kỹ thuật

Tốc độ bơm:
ISO 160:	Ar: 750 l/s	N2: 810 l/s	He: 950 l/s/	H2: 680 l/s
ISO 200:	Ar: 1,040 l/s	N2: 1,080 l/s	He: 1,150 l/s	H2: 730 l/s

Tỷ lệ nén:	Ar: 5 x 10⁸	N2: 5 x 10⁷	He: 4 x 10⁴	H2 1.5 x 10⁴
*Áp lực sơ sở (với bơm sơ cấp đề xuất)**	<1 x 10^-10 mbar
Mặt bích đầu vào	ISO 160F, ISO 200F
Mặt bích Foreline	KF 25 NW
ISO 160:	KF 40 NW
ISO 200:
Tốc độ quay	45,500 rpm
Thời gian khởi động
Bơm hỗ trợ	> 20 m³/h (TriScroll 600, DS 602)
Tư thế vận hành	Any
Nhiệt độ xung quanh khi vận hành	+5 °C tới +35 °C
Nhiệt độ nung chân không
Nhiệt độ nung chân không	tối đa 80 °C ở mặt bích đầu vào (mặt bích ISO)
Độ rung (thay đổi được)
Yêu cầu tản nhiệt	Nước
Nguồn điện	Tần số< 50 – 60 Hz	Công suất đầu vào tối đa: 600 VA	Công suất chờ: 30 to 35 W
Điện thế đầu vào: 100-240 Vac	400 W sử dụng Nitrogen và khí nhẹ (tản nhiệt nước)
Công suất vận hành tối đa:	260 W sử dụng Argon (tản nhiệt khí)
Cầu chì bảo vệ (Bộ điều khiển Navigator)	1 x 6.3 A
Giao tiếp nối tiếp (Bộ công cụ điều hướng)	RS232 cáp cùng 9-pin loại D	Đầu nối đực, đầu nối cái 9-pin loại D và phần mềm Navigator (tùy chọn)
Nhiệt độ Bảo quản	-20 °C tới +70 °C
Khối lượng	26.8 kg (59.1 lbs)

Video

Catalogiue