Combination VacIon Plus PumpsTitanium Sublimation Pumps

Bơm ion Agilent VacIon tích hợp bơm thăng hoa titan (TSP)

Bơm ion Agilent VacIon tích hợp bơm thăng hoa titan để đạt được UHV. Bơm thăng hoa titan (TSP) tạo ra tốc độ bơm cực lớn cho chất khí có thể thu hồi được đồng thời bơm Ion sẽ xử lý các chất khí không thu hồi được như argon, metan. TSP có thể lắp với bơm ion hoặc dùng riêng tùy mục đích.

Cấu hình bơm kết hợp hiện có với VacIon Plus 150, 300, 500 và bao gồm CryoPanel hình trụ, một cổng phụ ConFlat 8 inch ở phía bên hoặc phía dưới và một nguồn TSP gắn vào cổng phụ cung cấp tốc độ bơm cực lớn.

Agilent cung cấp hai loại máy bơm thăng hoa bằng titan: dạng sợi và dạng cầu. Các nguồn TSP dạng sợi có thể tắt được giữa các lần thăng hoa và do đó tránh gây ra quá nhiệt. Các nguồn hình cầu chứa lượng titan lớn hơn nên kéo dài tuổi thọ trong điều kiện sử dụng nhiều titan hơn, chẳng hạn như áp suất vận hành cao hơn.

 

 

 


ĐẶC TÍNH NỔI BẬT

  • Khí thu hồi đi vào phần cuối của cryopanel và kết hợp với titan mới lắng đọng.
  • Ni-tơ lỏng trong cryopanel làm tăng hiệu quả của quá trình chuyển đổi và gia tăng tốc độ bơm.
  • Cryopanel có thể được gắn ở dưới cùng của máy bơm hoặc bên cạnh, cung cấp sự linh hoạt khi có những yêu cầu về chiều cao thiết bị.
  • Cấu hình bơm tùy chỉnh cũng có sẵn.

NGUYÊN LÝ VẬN HÀNH


CÔNG NGHỆ


THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Bơm thăng hoa Titan (TSPs) Đặc điểm
Hộp chứa TSP Hộp chứa của TSP được đặt trên mặt bích ConFlat 2 ¾” OD và chứa ba thanh titan-molypden, mỗi thanh chứa 1.1gr titan dùng được. Hộp chứa có thể chịu đc nhiệt độ lên tới 400 °C. Thăng hoa tối đa với nguồn 3000 watts
Bóng Titan mini Bóng titan mini chứa 15.2 gr titan gắn trên mặt bích ConFlat 2 ¾” OD. Thăng hoa tối đa với nguồn 3000 watts và công suất duy trì yêu cầu 100 watts
TSP Cryopanel Thiết kế để sử dụng với hộp chứa TSP, thiết bị thăng hoa CryoPanel này đưuọc gắn với mặt bích ConFlat 8” OD. Có thể hoạt động với tản nhiệt nước, ni-tơ lỏng hoặc không thể làm mát khi có UHV. Thiết bị này có thể được gắn với bơm 2 đầu hoặc bơm có cổng bên và cũng có thể sử dụng độc lập với bất kì cổng 8” (NW 150) CFF sâu 11 in..

Tài liệu kỹ thuật