Bơm ion công suất lớn Agilent VacIon (150 tới 1000 L/s cho khí nitơ)

Bơm Ion công suất lớn VacIon Plus có tốc độ bơm từ 150 tới 1000 L/s cho nitơ. Những chiếc máy bơm này hiện có cấu hình Đi-ốt. Đi-ốt khí hiếm, và vỏ sao.

Bơm Đi-ôt VacIon Plus thường được sử dụng chính trong hệ thống UHV cho các thiết bị chuyển dịch electron và trong kính hiển vi điện tử. Bơm Đi-ốt khí hiếm được sử dụng cho các ứng dụng UHV để bơm hỗn hợp khí tới 1 áp suất nhất định thực sự lý tưởng để đạt được áp suất UHV ở các máy gia tốc, máy gia tốc hạt, máy gia tốc electron và các ứng dụng phân tích bề mặt. Máy bơm vỏ sao là loại bơm duy nhất có thể xử lí được lượng lớn khí hiếm và hidro. Đây cũng là máy có tốc độ và dung tích lớn nhất cho metan, argon và heli