EnglishHiểu rõ đặc tính bơm hút của một buồng chân không lớn là yếu tố then chốt để xác định xem hệ thống chân không có hoạt động bình thường hay không, hoặc liệu có xuất hiện nguồn thoát khí (outgassing) hay rò rỉ thực sự. Việc dò rò rỉ trên các buồng chân không lớn bằng máy dò rò heli là phương pháp nhanh chóng, hiệu quả và tiết kiệm chi phí.Việc lựa chọn đúng loại máy dò rò, cách kết nối máy dò với hệ thống chân không, và sử dụng khí dò heli một cách thích hợp là nền tảng để thực hiện một phép kiểm tra rò rỉ thành công. Thông thường, các buồng chân không lớn sử dụng bơm chân không cao (turbo hoặc khuếch tán), kết hợp với bơm roots và bơm cơ học. Phương pháp này mang lại khả năng đáp ứng nhanh nhất và làm sạch hiệu quả. Mặc dù Tổng quan Kỹ thuật này mô tả các hệ thống lớn được bơm hút theo cách nói trên, các phương pháp được trình bày vẫn có thể áp dụng cho buồng chân không ở mọi kích thước..
